負(fù)壓內(nèi)循環(huán)真空烘箱 實時監(jiān)控氧含量濃度 半導(dǎo)體行業(yè)專用真空箱

半導(dǎo)體專用新型真空烘箱，升溫降溫可控，實時監(jiān)測氧含量濃度，負(fù)壓內(nèi)微循環(huán)，自主研發(fā)全套臺達(dá)PLC控制系統(tǒng)

技術(shù)參數(shù)：

內(nèi)膽尺寸:470*450*450 (寬*深*高) 

溫度范圍:室溫~200℃

溫度波動度:0.2℃

升溫速率:室溫~150℃/30min

降溫速率:150C~60℃/30min

真空度:極限 100Kpa~0.1KPa 絕壓型

抽氣速率:02KPa/5min

真空泄漏率:24h/0.7kpa

真空度釋放:5~15min 手動可調(diào)，破真空可切換氮氣或空氣

氧濃度:1000ppm 以下

電壓:380V/50HZ

功率:5.5KW

氮氣流量:10~100L/min(手動流量計控制)

隔板:3 塊(123mm 三層，每層隔板最大承重 20KG)

產(chǎn)品特點：

  采用PLC 觸摸屏，內(nèi)加熱快速升溫水冷卻管道快速降溫，數(shù)字壓力傳感器，旋片油泵，氧含量濃度檢測，三色燈，獨立接口氮氣正壓力監(jiān)控器連接電磁閥釋放氣體。

  控制邏輯:觸摸屏控 SSR 溫度接觸器運行，抽氣運行，放氣自動，溫度與真空度分段循環(huán)設(shè)置，先真空度達(dá)到與氧氣濃度到達(dá)后保持再氮氣破真空后溫度升溫再保持

  立式結(jié)構(gòu)，腔體在上部，腔體內(nèi)有循環(huán)風(fēng)機加熱管，冷卻管道風(fēng)道板，儀表在中部，底部真空

  工作室材料:內(nèi)膽不銹鋼拉絲板

  抽氣波紋管，不銹鋼壓差閥，氮氣減壓閥與流量計，小型抽氣過濾罐，排氣油霧過濾器

  USB 接頭，啟動電源開關(guān)，報警指示燈

  數(shù)字獨立限溫保護(hù)，接地保護(hù)，漏電保護(hù)，真空泵過熱保護(hù)，循環(huán)電機過載保護(hù)